Dünnschichttechnologie für oxidische Hochtemperatur-Supraleiter

Projektleitung und Mitarbeiter

Alff, L. (Dipl. Phys.), Beck, A. (Dipl. Phys.), Fischer, G. (Dipl. Phys.), Fröhlich, O. M. (Dipl. Phys.), Gerber, R. (Dipl. Phys.), Gerdemann, R. (Dipl. Phys.), Gollnik, F. (Dipl. Phys.), Gross, R. (Dr. rer. nat., habil.), Hänsel, H. (Dipl. Phys.), Hartmann, M. (Dr. rer. nat.), Husemann, K.-D. (Dr. rer. nat.), Keck, M. (Dipl. Phys.), Kölle, D. (Dr. rer. nat.), Mayer, B. (Dr. rer. nat.), Marx, A. (Dipl. Phys.), Träuble, T. (Dipl. Phys.)

Mittelgeber : BMFT; DFG

Forschungsbericht : 1994-1996

Tel./ Fax.:

Projektbeschreibung

Es werden Depositions- und Mikrostrukturierungsverfahren für epitaktische Schichten aus HTSL und heteroepitaktische Mehrlagen-Strukturen aus HTSL, normalleitenden und dielektrischen Materialien entwickelt. Zum Einsatz kommen hierbei vor allem Sputterdepositionsverfahren und Ionenstrahlätzen. Es konnten Übergitter aus p- und n-dotierten HTSL hergestellt werden. Für supraleitende Bauelemente können Mikrostrukturen bis zu einer lateralen Ausdehnung von 1 æm routinemäßig hergestellt werden.

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qvf-info@uni-tuebingen.de(qvf-info@uni-tuebingen.de) - Stand: 30.11.96
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